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中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出电源输出频率设为典型的中频溅射电源以两个溅射靶作

为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上

的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄

放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜

层环境使用。